材質:氣孔陶瓷、多孔陶瓷 (Porous Ceramic) 。
特性:耐磨耗、不易發塵、絕緣性高。
應用範圍:主要用於研磨或切割半導體晶圓的吸盤。通常應用於細化、切割、清洗及運送等程序。
產品名稱:氣孔陶瓷、真空吸盤、CHUCK TABLE。
尺寸:6”~12” 。
客製化,依客戶需求,製作不同尺寸及形狀的吸盤。